<百級無塵烤箱>晶圓氮氣熱風精密百級無塵潔凈烤箱

百級無塵潔凈烤箱通過風機把不銹鋼加熱管的熱量經過耐高溫高效過濾器均勻的吹到烤箱內部，實現有效降低箱體環境的顆粒物數量的同時均勻的提升箱體內部的溫度，三清儀器潔凈烤箱擁有良好的溫度均勻性及無塵環境，達到Class100的無塵潔凈環境，為晶圓封裝或膠水固化等工藝提供良好的環境。風道位于箱體頂部與背部，高效過濾器H.E.P.A位于箱體風道內部。熱風經過H.E.P.A進入干燥箱內部，再循環至頂部進入風道，往復循環。耐高溫高效過濾器，過濾等級H13 (99.97% - 99.99% @0.3um），采用進口耐高溫超細纖維芯材，連續耐溫350℃，鋁箔隔層，陶瓷膠密封。

百級無塵潔凈烤箱搭載PID智能溫控儀，有效防止溫度過程的現象。配合設計合理的熱風循環風道，均勻的提升箱體內部的溫度，有著均勻性良好的特性。設備包含鈑金箱體、加熱系統、熱風循環系統，溫度控制系統、過濾系統、安全保護系統、充氮系統（選配）。具有操作簡便、控制系統自動化程度高、系統運行穩定、無故障運行時間長等優點，適用于各類產品的高溫無塵潔凈環境下的測試及試驗。三清儀器百級無塵烤箱的加熱系統采用U型不銹鋼加熱管，PID調節器，其執行元件為固態繼電器(S.S.R)。數字型智能程序溫度控制器，控溫精度0.5級，溫度分辨率±0.1℃，PID智能演算，自動恒溫，超溫抑制，傳感器斷線警報，斷電記憶，控溫精準。